在滤光片的造作过程中，对于镀膜滤光片而言，基底的洗濯水平很大一方面决定了镀膜产品质量的曲直，保险好光学元件镀膜前的高干净度，是滤光片造作过程最沉要的一步；自诮攵颇で氨匾村χ么锏饺ビ汀⑷ノ酆屯阉，能力有效提高膜层之间的牢固度。

以通常洗濯行业，凭据洗濯剂分歧通常分为湿式洗濯和干式洗濯，对于镀膜的滤光片行业而言，通常对镀膜前基底的洗濯方式重要分为物理洗濯与化学洗濯，物理洗濯为去除基底表表的附着物，如尘埃、粉尘；村慈コ妆肀淼幕Ц阶盼，即油迹。以下为光学滤光片的四种洗濯方式！

一、擦拭洗濯

通常擦拭洗濯兼具机械摩擦与化学作用除污成效最好，滤光片在转入镀膜加工前，通常在擦拭洗濯前配以超声波洗濯几分钟，再用离子水在冲刷成效更好。

基底在经过抛光后，表表可能存在一些抛光后留下的粘附性颗粒物及油污，所以必要在镀膜前，必要将滤光片基底浸泡在丙酮或其他洗濯剂一段功夫，而后用脱脂棉蘸在基底表表进行擦拭。如锗、石英、蓝宝石等基地资料通常用蘸有丙酮的脱脂棉擦拭，再用蘸有洗濯剂的脱脂棉擦拭洗濯。

二、超声波洗濯

超声波洗濯通常选取超声空化作用、超声空化二阶效应产生的微声流进行洗刷，以及超声空化在固液界面产生高速微流进行冲击洗濯，从而达到高速、高效、自动化洗濯。滤光片在进行真空镀膜前对基底表表干净度要求较高，通常必要凭据传染物种类选择分歧的超声波频率和分歧的洗濯介质，洗濯频率通常多在20-80k Hz领域，同时对媒介进行加温，洗濯介质能够切合拔取张力幼，对超声波衰减幼，对油脂溶化力大，无害物质等前提的介质，或选择离子水、中性洗濯剂、异丙醇、丙酮等。

三、汽相洗濯（蒸汽洗濯）

蒸汽洗濯也叫有机溶剂蒸汽洗濯，通过有机溶剂蒸发-液化冷凝到滤光片基底-溶化污物，从而达到洗濯基底维持高干净度的成效，蒸汽洗濯装置的洗濯槽经过有机溶剂141B加热沸腾后形成大量蒸汽，使得上部空间的有机溶剂蒸汽在基底冷凝液化，使得基底表表污物溶化，在沉力作用下随着含有污垢的液体从被洗濯的基底表表向下贱动进入液相溶剂中。

四、离子束洗濯

滤光片在镀膜前经过洗濯后转入真空室过程时，在基底装入镀膜设备真空室和蒸镀前可能存在二次传染，这个过程就必要对基底进行最后一路离子束洗濯，离子束洗濯的道理就是通过高能离子束轰击下将吸附或粘附在基片上的污垢进行脱离或通过高热能氧离子氧化污物分子从而让污垢在离子碰撞下脱离基片。

镀膜前的滤光片洗濯通常选取擦拭和超声波换用分歧的清洁剂进行交叉洗濯 ，再用离子水冲刷后辅以汽相洗濯以满足镀膜前的清洁要求。