激光过问仪，又称过问丈量装置，是一种利用光的过问道理来丈量物体长度、厚度、状态、折射率等参数的精密仪器。它宽泛利用于工业、科研和检测领域，如数控机床的精度检测、光学元件的表表质量检测等。激光过问仪以激光波长为已知长度，通过迈克尔逊过问系统或其他大局的过问光学系统，实现对位移、角度、真平度、真直度等参数的精确丈量。

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工作道理

激光过问仪是一种高精度的丈量仪器，宽泛利用于工业丈量和科研领域。凭据其工作道理和个性，激光过问仪重要能够分为两大类：单频激光过问仪和双频激光过问仪。

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单频激光过问仪 　　

从激光器发出的光束，经扩束准直后由分光镜分为两路，并别离从固定反射镜和可动反射镜反射回来聚合在分光镜上而产生过问条纹。当可动反射镜移动时，过问条纹的光强变动由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电脉冲信号，经整形、放大后输入可逆计数器推算出总脉冲数，再由电子推算机按推算式[356-11]式中λ为激光波长(N为电脉冲总数)，算出可动反射镜的位移量L。使用单频激光过问仪时，要求周围大气处于不变状态，各类空气湍流城市引起直流电平变动而影响丈量了局。 　

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双频激光过问仪 　　

在氦氖激光器上，加上一个约0.03特斯拉的轴向磁场。由于塞曼割裂效应和频率牵引效应,激光器产生1和2两个分歧频率的左旋和右旋圆偏振光。经1/4波片后成为两个相互垂直的线偏振光,再经分光镜分为两路。

一路经偏振片1后成为含有频率为f1-f2的参考光束。另一路经偏振分光镜后又分为两路：一路成为仅含有f1的光束,另一路成为仅含有f2的光束。当可动反射镜移动时,含有f2的光束经可动反射镜反射后成为含有f2±Δf的光束，Δf是可动反射镜移动时因多普勒效应产生的附加频率,正负号暗示移动方向(多普勒效应是奥地利人C.J.多普勒提出的，即波的频率在波源或接受器活动时会产生变动)。

这路光束和由固定反射镜反射回来仅含有f1的光的光束经偏振片2后聚合成为f1-(f2±Δf）的丈量光束。丈量光束和上述参考光束经各自的光电转换元件、放大器、整形器后进入减法器相减,输出成为仅含佑桌Δf的电脉冲信号。经可逆计数器计数后，由电子推算机进行当量换算（乘1/2激光波长）后即可得出可动反射镜的位移量。双频激光过问仪是利用频率变动来丈量位移的，这种位移信息载于f1和f2的频差上，对由光强变动引起的直流电平变动不敏感，所以抗滋扰能力强。

它常用于检定测长机、三坐标丈量机、光刻机和加工中心等的坐标精度，也可用作测长机、高精度三坐标丈量机等的丈量系统。利用相应附件，还可进行高精度直线度丈量、平面度丈量和幼角度丈量。

激光过问仪所需光学镜片及其作用

激光过问仪中使用的光学镜片重要蕴含反射镜、分光镜、偏振镜等，在丈量过程平别离起着至关沉要的作用。

反射镜

作用：反射镜用于将激光光束导向特定的蹊径，形成参考光束和丈量光束。在激光过问仪中，固定反射镜和可动反射镜别离用于形成不变的参考光束和随被测物体移动的丈量光束。

参数指标：反射镜的表表质量直接影响过问条纹的清澈度和丈量的精度。因而，反射镜必要拥有高反射率、低散射和低吸收等个性。

分光镜

作用：分光镜用于将激光光束分为两路，一路作为参考光束，另一路作为丈量光束。同时，它还必要将两束返回的光沉新汇聚，以便进行过问丈量。

参数指标：分光镜的透光率和分光比必要精确节造，以确保两束光的光强一致且过问成效优良。此表，分光镜的表表质量和不变性也是影响丈量精度的关键成分。

偏振镜

作用：在双频激光过问仪中，偏振镜用于产生和分离分歧频率的圆偏振光，以及将丈量光束和参考光束中的光矢量分量进行选择和调整。

参数指标：偏振镜必要拥有高消光比、低插入损耗和不变的偏振个性，以确保丈量光束和参考光束的偏振状态一致且不变。

激光过问仪作为一种高精度丈量仪器，在工业出产、科研尝试和精密检测等领域阐扬着沉要作用。其丈量道理基于光的过问景象，通过精确节造光学镜片的质量和机能，实现对位移、角度等参数的精确丈量。在激光过问仪中，反射镜、分光镜和偏振镜等光学镜片是关键部件，它们的机能直接影响丈量的精度和不变性。因而，在选择和使用这些光学镜片时，必要严格节造其参数指标和造作工艺，以确保激光过问仪的丈量精度和靠得住性。