面精度：面型精度选取精密抛光与梦想平面的误差量来暗示。由于使用能够丈量波面的过问仪来丈量，所以也被称为反射波面精度。面型精度的过问条纹数的单元是λ,λ是指过问仪所使用的氦氖激光器的波长为 632.8nm。另表，暗示面型精杜仔两个参数:PV和 RMS 值。PV值是 Peak to Valley(峰值与谷值的差值)，RMS值是 Root MeanSquare(均方根值)。

表表质量：这是评估研磨或镀膜后的表表缺点的一个参数，通常用划痕(scratch)和凹坑 (dig)两种数值的组合来表述。

激光危险阈值：当高功率的脉冲激光照射到光学元件时，可能会造成光学元件的膜层或玻璃资料的危险。当光学元件起头遭到危险时的激光能量密度(J/cm?)称为激光危险阈值。有关阅读：若何推算滤光片的激光危险阈值

P 偏光 S 偏光：当光线斜入射到玻璃表表时，其反射率会随入射光线的偏光方向产生变动。在玻璃表表的法线和入射光束所组成的平面内振动的光波称为P偏光，与P偏光正交方向振动的光波称为S偏光。其他方向的偏振状态能够以为是分歧比例的 P 偏光和 S 偏光合成的了局。P 偏光和S偏光的反射率由入射角度和玻璃的折射率所决定，由于他们遵循的法令分歧，所以P偏光和S偏光的反射率也是分歧的。

光束偏转角：在激光東光路中插入光学元件时，光東方向会产生偏转，与原光東方向相比所偏转的角度称为光束偏转角。光束偏转角由光学元件的平行度和折射率决定。

偏疼：以透镜的表径为基准，动弹透镜时，若是是梦想透镜，透过光束或者聚光光束将不会改观;若是梦想透镜的光轴和透镜表径的中心轴存在角度误差时，透过光束将按周围轨迹活动。与动弹轴相比透过光束所摆的角度称为偏疼。