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真空蒸发镀膜技术蕴含电阻蒸发镀、电子束蒸发镀、激光束蒸发镀、高频感应加热蒸发镀等。下表列出了几中蒸发镀膜技术的特点。

技术名称

电阻蒸发镀

电子束蒸发镀

激光束蒸发镀

高频感应加热蒸发镀

热能起源

高熔点金属

高能电子束

激光能量

高频感应加热

功率密度幼

特点

单一成本低

金属化合物

纯度高，不分馏

蒸发速度大

1.电阻蒸发镀：电阻蒸发源用于蒸发低熔点资料，如金、银、硫化锌、氟化镁、三氧化二铬等。电阻蒸发源通常选取钨、钼、钽造作。

2.电子束蒸发镀：利用电子束加热使膜材汽化蒸发后，凝固在基片表表成膜是真空蒸镀技术中一种沉要的加热步骤。这种装置的种类好多。随着薄膜技术的宽泛利用，不只对膜的种类要求繁多，并且对膜的质量要求越发严格。电阻蒸发镀已不能满足蒸镀某些金属和非金属的必要。电子束热源能获得远比电阻热源更大的能量密度，数值可达到104-109w/cm2，因而能够将膜材加热至3000-6000c。这就为蒸起事熔金属和非金属资料如钨、钼、锗、SiO2、AI2O3等提供了较好的热源。并且由于被蒸镀的资料是放在水冷坩埚内，因而可预防容器资料的蒸发及容器资料与膜材之间的反映，这对提高膜的纯度是极为沉要的。另表，热量可直接加到膜材表表上，因而热效能高，热传导和热辐射损失少。

3.高频感应加热蒸发镀：利用感应加热道理把金属加热到蒸发温度。将装有膜层资料的坩埚放在螺旋线圈的中央(非接触)，在线圈中通以高频电流，能够使金属膜层资料产生电流将自身加热升温，直至蒸发。

感应加热蒸发源的特点：1)蒸发速度大 2)蒸发源温度均匀不变，不易产生铝滴飞溅景象 3)蒸发源一次装料，毋庸送丝机构，温度节造比力容易，操作单一 4)对膜材纯度要求略宽些。

4.电弧加热蒸发镀：与电子束加热方式相类似的一种加热方式是电弧放电加热法。它也拥有能够预防电阻加热资料或坩埚资料的传染，加热温度较高的特点，出格合用 于熔点高，同时拥有肯定导电性的难熔金属、石墨等的蒸发。同时，这一步骤所用的设备比电子束加热装置单一，因而是一种较为廉价的蒸发装置。

5.激光束蒸发镀：选取高功率密度脉冲激光对资料进行蒸发，用以形成薄膜的步骤，通常称为激光蒸镀。